·量程:50mm-6000mm
·输出:TTL,HTL,RS422
·最大速度:500mm/s
·分辨率:0.5-10μm
·栅距:20μm
输出信号(TTL 输出):L=max. 0.5V at< 10mA H=min. 3.5V at> 2.5mA
微型光栅尺
·量程:10mm-15mm
·输出:TTL
·分辨率:5μm